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2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
3、設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
| 產品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機 | |
| 產品型號 | PCE-6 | |
| 主要參數 | 1、電源：AC220V 50/60Hz | |
| 2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W | ||
| 3、真空泵功率：<500W | ||
| 4、總功率：<600W | ||
| 5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調節 | ||
| 6、等離子腔體：高純石英腔體Ø160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有Ø45mm的觀察窗 | ||
| 7、真空泵：120L/min，直連式雙旋真空泵 | ||
| 8、極限真空度：50mtorr | ||
| 9、通入氣體：可通入多種氣體來產生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據材料性質選定） | ||
| 清洗及蝕刻 | ||
| 產品規格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm | |
| 重量：10.2kg | ||
| 可選配件 | 1、2"-6"石英舟（盛放基片） | |
| 2、2-4通道質子或浮子混氣系統 | ||
